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光刻

光刻

光刻

2021/5/20 15:31:10

· 接觸式光刻(MA6/BA6)

最小線(xiàn)寬:1μm,套刻精度:±0.5μm

· 步進(jìn)式光刻(Stepper i7/i10/i12)

最小線(xiàn)寬:0.35μm 套刻精度≤0.15μm,2inch、4inch及6inch晶圓

· 電子束光刻

最小線(xiàn)寬:10nm,套刻精度:40nm 曝光范圍<直徑75mm,

樣品大?。?5mm*15mm、20mm*20mm、2inch、3inch、4inch。 光刻膠種類(lèi):PMMA A2、PMMA A4、PMMA A8

· 背面套刻(MA6/BA6)

最小線(xiàn)寬:1μm,正面套刻精度:±0.5μm 背面套刻精度:±2μm